三月十五日至三十一日，第八屆全國(guó)rd第一次會(huì)議在京舉行。大會(huì)審議和通過(guò)了李領(lǐng)導(dǎo)所作的《政f工作報(bào)告》。


    《報(bào)告》提出，經(jīng)濟(jì)體製改革的目標(biāo)是建立社會(huì)主義市場(chǎng)經(jīng)濟(jì)體製，要求從一九九三年起要力爭(zhēng)在轉(zhuǎn)換國(guó)有企業(yè)經(jīng)營(yíng)機(jī)製、發(fā)展各類(lèi)市場(chǎng)、價(jià)格改革、勞動(dòng)工資製度改革、推進(jìn)社會(huì)保障和城鎮(zhèn)住房製度改革、改善和加強(qiáng)宏觀經(jīng)濟(jì)管理等方麵，取得突破性的進(jìn)展。


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    “孫健，你的提案我們都看了，對(duì)國(guó)內(nèi)光刻機(jī)的研發(fā)和生產(chǎn)現(xiàn)狀一針見(jiàn)血，振耳聵聾，非常有遠(yuǎn)見(jiàn)性、緊迫性和可行性，李領(lǐng)導(dǎo)讓我交給你一項(xiàng)重要任務(wù)，國(guó)z委在中官村高新區(qū)有償劃撥一千畝工業(yè)用地，將工y部45所、中k院微電子研究中心和中k院滬海光學(xué)精密機(jī)械研究所及其配套工廠，所有從事光刻機(jī)半導(dǎo)體研發(fā)和生產(chǎn)任務(wù)的幹部職工和生產(chǎn)設(shè)備全部從原單位剝離出來(lái)，將所擁有的技術(shù)專(zhuān)利、幹部職工和生產(chǎn)設(shè)備等整體注入，國(guó)有資產(chǎn)評(píng)估公司評(píng)估2億元，國(guó)資占股40%，淘寶控股公司投資3億元，占股60%，注冊(cè)資本金5億元，成立京城半導(dǎo)體設(shè)備股份有限責(zé)任公司，你擔(dān)任公司法人和董事長(zhǎng)，魏建國(guó)同誌擔(dān)任公司總經(jīng)理，國(guó)資股份中，中k院占股17%，工y部占股13%，中官村管委會(huì)占股10%�！�


    作為全國(guó)zx委員，第一次參加全國(guó)zx會(huì)議，參z議z是每個(gè)委員的職責(zé)，孫健撰寫(xiě)了一份《研發(fā)新一代光刻機(jī)是中g(shù)跟上世界集成電路發(fā)展步伐的希望》的提案，在大會(huì)上宣讀。


    從國(guó)內(nèi)光刻機(jī)的研發(fā)和生產(chǎn)企業(yè)的現(xiàn)狀，與世界光刻機(jī)研發(fā)和生產(chǎn)公司的巨大差距，大力發(fā)展新一代光刻機(jī)的必要性和緊迫感，唿籲集中從事光刻機(jī)等半導(dǎo)體研發(fā)和生產(chǎn)的團(tuán)隊(duì)，成立一家光刻機(jī)等半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備股份製公司，采用市場(chǎng)化手段，共同研發(fā)和生產(chǎn)新一代光刻機(jī)等半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備，打破西方國(guó)家對(duì)先進(jìn)光刻機(jī)等半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的封鎖。


    建議以研發(fā)人員、生產(chǎn)人員、技術(shù)專(zhuān)利、生產(chǎn)設(shè)備和土地等投入，以股份製公司形式，在京城或滬海成立一家光刻機(jī)等半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備股份公司，建立現(xiàn)代企業(yè)管理製度，打破鐵飯碗和幹部終身製，能者上，劣者下，按勞分配，多勞多得，上不封頂，獎(jiǎng)勵(lì)管理層和技術(shù)團(tuán)隊(duì)股權(quán)，與公司的興衰息息相關(guān)，以數(shù)據(jù)說(shuō)話，高屋建瓴，見(jiàn)解獨(dú)特，可行性強(qiáng)，字裏行間流露出提升國(guó)內(nèi)光刻機(jī)等半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的焦急心情，這份提案引起參會(huì)的科協(xié)和科技界等zx委員的高度關(guān)注和熱議，提案被領(lǐng)導(dǎo)們廣泛傳閱。


    zx會(huì)議結(jié)束後，孫健被朱副領(lǐng)導(dǎo)留了下來(lái)。


    四月一日上午，朱副領(lǐng)導(dǎo)在辦公室接見(jiàn)了孫健，電子工y部宗部長(zhǎng)、中k院周院長(zhǎng)、中官村管委會(huì)沈主任和中k院微電子研究中心半導(dǎo)體設(shè)備廠魏建國(guó)廠長(zhǎng)在座。


    八六年，109廠與中k院半導(dǎo)體研究所、中k院計(jì)算技術(shù)研究所有關(guān)研製大規(guī)模集成電路部分單位合並，成立中k院微電子研究中心，原109廠變成了半導(dǎo)體設(shè)備廠。


    “首長(zhǎng)，我服從安排，請(qǐng)首長(zhǎng)幫忙，從三家研究所及其配套工廠的幹部中，再給公司配備一名副總經(jīng)理、一名光刻機(jī)研究院院長(zhǎng)和一名副院長(zhǎng)，我隻負(fù)責(zé)公司的重大決策。”


    雖然孫健明白留他下來(lái)肯定談?wù)撊绾握衽d國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的大事？但做夢(mèng)也沒(méi)有想到，國(guó)家竟然將國(guó)內(nèi)三家研發(fā)和生產(chǎn)光刻機(jī)等半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的核心研究機(jī)構(gòu)及其配套工廠交給他，成立京城半導(dǎo)體設(shè)備股份有限責(zé)任公司（beijiorequipmentcorporation，簡(jiǎn)稱(chēng)bsec），由淘寶控股公司投資控股，擔(dān)任法人，領(lǐng)導(dǎo)國(guó)內(nèi)光刻機(jī)等半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)。


    任務(wù)艱巨而光榮！


    國(guó)內(nèi)光刻機(jī)等半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)處?kù)栋胪�滯狀態(tài)，技術(shù)水平與當(dāng)今世界光刻機(jī)龍頭企業(yè)尼康公司相差十年以上。


    六一年，成立三年的gca（美國(guó)地球物理公司）造出了世界第一臺(tái)接觸式光刻機(jī)。


    七十年代，尼康公司和佳能公司開(kāi)始進(jìn)入這個(gè)領(lǐng)域，作為光學(xué)行業(yè)的頂級(jí)巨鱷，相機(jī)裏的一塊cmos感光元件，技術(shù)難度都比當(dāng)時(shí)的光刻機(jī)不知道高多少倍？如魚(yú)得水！


    七十年代，kasper儀器公司首先推出了接觸式對(duì)齊機(jī)臺(tái)並領(lǐng)先了幾年，cobilt公司做出了自動(dòng)生產(chǎn)線，但接觸式機(jī)臺(tái)後來(lái)被接近式機(jī)臺(tái)所淘汰。


    七三年，拿到美國(guó)軍方投資的p＆e公司推出了投影式光刻係統(tǒng)，搭配正性光刻膠非常好用而且良率頗高，因此迅速占領(lǐng)了市場(chǎng)。


    七八年，gca推出了世界上第一臺(tái)商用步進(jìn)光刻機(jī)dsw4800，該機(jī)器使用g線汞燈和蔡司光學(xué)元件，以10:1的比例將芯片線路成像到十毫米見(jiàn)方區(qū)域。


    八零年，尼康公司率先推出日本首臺(tái)krf商用步進(jìn)光刻機(jī)nsr-1010g，能夠以五倍的分辨率的減少實(shí)現(xiàn)1μm製程工藝，生產(chǎn)比gca更高分辨率的鏡頭吸引客戶(hù)。


    ibm、ii、amd和hp等美國(guó)半導(dǎo)體公司，在公司利益麵前果斷放棄美國(guó)利益，紛紛掉頭投入尼康公司的懷抱。


    在尼康公司的打壓下，gca的高端市場(chǎng)份額不斷減少，在八五年、八六年損失一億美元，不得不裁員七成；八八年，美國(guó)通用信號(hào)公司以七千六百萬(wàn)美元收購(gòu)了陷入財(cái)務(wù)困境的gca，為了與尼康競(jìng)爭(zhēng)，sematech（美國(guó)半導(dǎo)體製造技術(shù)戰(zhàn)略聯(lián)盟）資助gca開(kāi)發(fā)成功krf光刻機(jī)，實(shí)現(xiàn)了1μm製程工藝，但尼康光刻機(jī)的製程工藝提升到800nm，gca的高端市場(chǎng)份額沒(méi)有多大起色。


    六六年，中k院109所與滬海光學(xué)儀器廠聯(lián)手協(xié)作成功研製中國(guó)第一臺(tái)光刻機(jī)、65型接觸式光刻機(jī)。


    八一年，中k院半導(dǎo)體研究所研製成功jk-1半自動(dòng)接近式光刻機(jī)。


    八二年，109廠、冰城量具刃具廠和阿城繼電器廠共同研製成功kha75-1型半自動(dòng)接近式光刻機(jī)，在指標(biāo)上已經(jīng)完全對(duì)標(biāo)日本的500-f型。